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手動真空波紋管角閥系列

內(nèi)表面粗糙度:Ra ≤ 0.13μm|工(gōng)作(zuò)溫度:-10 ~ 80℃


産品信息

産品介紹

手動真空波紋管角閥采用316L波紋管并結合潔淨工(gōng)藝處理,使閥門在使用過程中減少(shǎo)顆粒物(wù)的産生,非常适用于半導體行(xíng)業或研究環境。它主要(yào)用于規格儀表或系統隔離,同時(shí)也推薦作(zuò)為(wèi)通(tōng)氣、旁路或粗抽閥使用。

主要(yào)部件材料

閥體                       316L /316L(VIM+VAR)

密封圈                    FKM

波紋管                    316L

手柄                       6061

工(gōng)作(zuò)條件

真空壓力等級         0.1Mpa-1x10 -9 pa

漏率                      ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He

CV值                      1.0/1.5/2.2

工(gōng)作(zuò)溫度                -10 ~ 80℃

內(nèi)表面粗糙度          Ra ≤ 0.13μm

産品特點

采用 316L 波紋管并結合潔淨工(gōng)藝處理

相關下(xià)載

關鍵詞:

氣體管閥件


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