産品信息
産品介紹
手動真空波紋管角閥采用316L波紋管并結合潔淨工(gōng)藝處理,使閥門在使用過程中減少(shǎo)顆粒物(wù)的産生,非常适用于半導體行(xíng)業或研究環境。它主要(yào)用于規格儀表或系統隔離,同時(shí)也推薦作(zuò)為(wèi)通(tōng)氣、旁路或粗抽閥使用。
主要(yào)部件材料
閥體 316L /316L(VIM+VAR)
密封圈 FKM
波紋管 316L
手柄 6061
工(gōng)作(zuò)條件
真空壓力等級 0.1Mpa-1x10 -9 pa
漏率 ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He
CV值 1.0/1.5/2.2
工(gōng)作(zuò)溫度 -10 ~ 80℃
內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.13μm
産品特點
采用 316L 波紋管并結合潔淨工(gōng)藝處理
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關鍵詞:
氣體管閥件
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