産品信息
産品介紹
前驅體源瓶用于固态、液态及氣态超純物(wù)料類的封裝，涉及微(wēi)正壓、常壓、中低(dī)壓的危險化學品，對源瓶的安全性和(hé)潔淨度提出嚴苛的要(yào)求。
主要(yào)部件材料
閥體 316L /316L（VIM+VAR）
瓶體 316L
工(gōng)作(zuò)條件
工(gōng)作(zuò)壓力 0.8Mpa
內(nèi)漏率 ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He
外(wài)漏率 ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He
工(gōng)作(zuò)溫度 0 ～ 150℃
內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.2μm
産品特點
超純物(wù)料類的封裝
涉及微(wēi)正壓、常壓、中低(dī)壓
相關下(xià)載
關鍵詞：
氣體管閥件
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