前驅體源瓶


工(gōng)作(zuò)壓力:0.8Mpa|工(gōng)作(zuò)溫度:0 ~ 150℃

一(yī)體化氣體分配系統


工(gōng)作(zuò)壓力:0 ~ 150psi|工(gōng)作(zuò)溫度: -10 ~ 60℃

手動真空波紋管角閥系列


內(nèi)表面粗糙度:Ra ≤ 0.13μm|工(gōng)作(zuò)溫度:-10 ~ 80℃

BV2球閥


工(gōng)作(zuò)壓力 真空至 200psig|工(gōng)作(zuò)溫度 -28 ~ +150℃

氣動真空波紋管角閥系列


開(kāi)啓壓力:0.5Mpa-0.8Mpa|工(gōng)作(zuò)溫度:-10 ~ 80℃

手動波紋管截止閥


工(gōng)作(zuò)溫度:-10 ~ 80℃ /‘0 ~ 220℃|壓力等級:0 ~ 400psig

氣動波紋管截止閥系列


開(kāi)啓或關閉壓力:0.5Mpa-0.8Mpa|工(gōng)作(zuò)溫度:-10 ~ 80℃ /‘0 ~ 220℃

BVT閥門


工(gōng)作(zuò)壓力 真空至 1000psi|工(gōng)作(zuò)溫度 -30 ~ +150℃

QPV(H)高速隔膜閥


工(gōng)作(zuò)壓力:真空至145psig|流量系數(shù):0.27/0.62|工(gōng)作(zuò)溫度:0 ~ 70℃,0 ~200℃(高溫型)
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