産品介紹

MGDS氣體輸送系統為(wèi)一(yī)體化氣體分配系統技術(shù)提供了(le)一(yī)種方法，利用平面密封技術(shù)，在更緊湊的氣體面闆上(shàng)構建氣體輸送系統。每個表面安裝組件遵循 SEMI 标準，可(kě)根據需求形成不同的配置形式。維護時(shí)，僅需在面闆上(shàng)方進行(xíng)操作(zuò)，簡單方便。

MGDS 系列配套專用的減壓器、隔膜閥、單項閥、底座及零部件。

主要(yào)部件材料

MGDS底座系列                      316L /316L（VIM+VAR）

MHD系列                               316L/316L（VIM+VAR）+Ni-Co alloy

MPD系列                                316L/316L（VIM+VAR）+Ni-Co alloy

MCV系列                                316L/316L（VIM+VAR）+Ni-Co alloy+FFKM

工(gōng)作(zuò)條件

工(gōng)作(zuò)壓力                0 ～ 150psi

外(wài)漏率                    ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He

工(gōng)作(zuò)溫度                -10 ～ 60℃

內(nèi)表面粗糙度          Ra ≤ 0.13μm

産品特點