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VG 系列真空發生器

驅動氣體壓力: 70 ~ 120psig|可(kě)達真空度: -82Kpag|材質:316L|工(gōng)作(zuò)溫度-10℃~60℃


産品信息

産品介紹 

VG 系列真空發生器,在吹掃過程中引入真空,顯著改善吹掃和(hé)工(gōng)藝氣體的稀釋效果。

産品特點

清洗、組裝、測試和(hé)包裝在10級潔淨間(jiān)完成

超純水清洗

內(nèi)部粗糙度 Ra ≤ 0.25µm

外(wài)漏率低(dī)于 1×10-10Pa.m3 /Sec.He

工(gōng)作(zuò)條件

驅動氣體壓力           70 ~ 120psig

可(kě)達真空度              -82Kpag

工(gōng)作(zuò)溫度                 -10 ~ 60℃

外(wài)漏率                    ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

內(nèi)表面粗糙度          Ra ≤ 0.25μm

相關下(xià)載

關鍵詞:

氣體管閥件


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