Uα-1H 氣體減壓器

進口壓力:3500psig｜出口壓力:30、60、100、150psig｜材質:316L（VIM+VAR）｜工(gōng)作(zuò)溫度-10℃~60℃

類别：

産品信息

産品介紹
Uα-1H 氣體減壓器專為(wèi)超高純氣體，半導體級工(gōng)藝氣體設計，滿足超大規模集成電路的使用要(yào)求。
主要(yào)部件材料
閥體	316L（VIM+VAR）
膜片	UNS N06022
閥針	316L（VIM+VAR）/ UNS N10276
密封墊	PCTFE / PI
手柄	ABS
閥蓋	316L
工(gōng)作(zuò)條件
進口壓力	3500psig
出口壓力	30,60,100,150psig
原壓變動	0.7psig / 100psig
工(gōng)作(zuò)溫度	-10 ～ 60℃
內(nèi)漏率	≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外(wài)漏率	≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
流量系數(shù)	0.06
內(nèi)表面粗糙度	Ra ≤ 0.1μm
産品特點
适用于特氣櫃
提供 UNS N06022/UNS N10276 內(nèi)部件選項
每台減壓器進行(xíng)單獨的壓力測試、功能(néng)測試、氦質譜洩漏測試和(hé)顆粒物(wù)檢測
內(nèi)部無彈簧，內(nèi)部死體積小，減少(shǎo)了(le)顆粒物(wù)的存留
束縛膜片結構，增加安全性