産品介紹

兩聯三通(tōng)隔膜閥，集成式設計，緊湊型閥體，吹掃效率高，內(nèi)部無螺紋和(hé)無彈簧設計，死體積小清潔度高，膜片式硬密封結構，超低(dī)漏率；适用于超高純度氣體，半導體用（毒、腐）氣體，滿足超大規模集成電路的工(gōng)藝氣體要(yào)求。

主要(yào)部件材料

閥體                       316L /316L（VIM+VAR） 

膜片                       Ni-Co alloy /UNS R30003

密封墊                   PCTFE 

工(gōng)作(zuò)條件

工(gōng)作(zuò)壓力                真空至 150psig

爆破壓力                3000psig

流量系數(shù)                0.3

工(gōng)作(zuò)溫度                -10～80℃

內(nèi)漏率                   ≤1×10-10Pa.m3/sec.He

外(wài)漏率                   ≤1×10-10Pa.m3/sec.He

內(nèi)表面粗糙度         Ra≤0.1μm

産品特點

适合超高純度氣體應用

Ni-Co alloy /UNS R30003 材料膜片

快(kuài)速、可(kě)重複執行(xíng)的氣動執行(xíng)機構

每台閥門進行(xíng)單獨的氦質譜檢測

超長(cháng)使用壽命內(nèi)部無螺紋和(hé)無彈簧設計大幅減少(shǎo)了(le)雜(zá)質的生成和(hé)氣體的卷入