産品介紹 

QPH（H） 系列高速隔膜閥，膜片式硬密封，超低(dī)漏率，長(cháng)壽命，快(kuài)速響應，可(kě)選耐高溫；适用于原子層沉積（ALD）系統，主要(yào)用于集成電路晶圓生産的環節。超高純度氣體，半導體用（毒、腐）氣體。

主要(yào)部件材料

閥體                       316L （VIM+VAR）

膜片                       Ni-Co alloy /UNS R30003

密封墊                   PFA

工(gōng)作(zuò)條件

工(gōng)作(zuò)壓力                真空至145psig

流量系數(shù)                0.27/0.62

工(gōng)作(zuò)溫度                0 ～ 70℃，0 ～200℃（高溫型）

內(nèi)漏率                   ≤1×10-10Pa.m3/sec.He

外(wài)漏率                   ≤1×10-10Pa.m3/sec.He

內(nèi)表面粗糙度         Ra≤0.13μm

産品特點

快(kuài)速響應下(xià)的超長(cháng)使用壽命