Xα-2H 氣體減壓器

進口壓力:3500psig｜出口壓力:30、60、100、150psig｜材質:316L｜工(gōng)作(zuò)溫度-10℃~60℃

類别：

産品信息

産品介紹
Xα-2H 氣體減壓器。雙級膜片式結構設計，硬密封結構，內(nèi)部電解抛光(guāng)處理；高壓輸入，低(dī)壓标準流量輸出，輸出壓力穩定；适用于半導體級高純氣體、毒性、腐蝕性、易燃易爆氣體等。
主要(yào)部件材料
閥體	316L/316L（VIM+VAR）
膜片	UNS N06022
閥針	316L / UNS N10276
密封墊	PCTFE / PI
手柄	ABS
閥蓋	316L
工(gōng)作(zuò)條件
進口壓力	3500psig
出口壓力	30,60,100,150psig
原壓變動	0.025psig/100psig 0.075psig/100psig（B2H6/NF3）
工(gōng)作(zuò)溫度	-10 ～ 60℃
內(nèi)漏率	≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外(wài)漏率	≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
流量系數(shù)	0.05
內(nèi)表面粗糙度	Ra ≤ 0.1μm
産品特點
适用于特氣櫃
提供 UNS N06022/UNS N10276 內(nèi)部件選項
每台減壓器進行(xíng)單獨的壓力測試、功能(néng)測試、氦質譜洩漏測試和(hé)顆粒物(wù)檢測
膜片與閥體之間(jiān)采用金(jīn)屬對金(jīn)屬密封設計，密封性能(néng)極好