産品介紹 

MGDS 底座為(wèi)一(yī)體化氣體分配系統技術(shù)提供了(le)一(yī)種方法，在更緊湊的氣體面闆上(shàng)構建氣體輸送系統，利用平面密封技術(shù)。每個表面安裝 組件遵循SEMI标準。可(kě)根據需求形成不同的配置形式。維護時(shí)，僅需在面闆上(shàng)方進行(xíng)操作(zuò)，簡單方便。

工(gōng)作(zuò)條件 

工(gōng)作(zuò)壓力              1Mpa

工(gōng)作(zuò)溫度              -10 ～ 200℃

外(wài)漏率                 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

內(nèi)表面粗糙度       Ra ≤ 0.1μm

技術(shù)特征 

漏率測試      外(wài)漏率 5X10-10Pa.m3 /sec.He，符合實際生産需求。

清潔            10 級潔淨間(jiān)超純水清洗。

EP 工(gōng)藝       內(nèi)部經過 EP 工(gōng)藝處理後，內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm，滿足超高純度氣體系統要(yào)求。

安裝            滿足 SEMI 安裝标準。