産品介紹  

Um-1L 氣體減壓器，膜片式硬密封結構，超低(dī)漏率；适用于超高純度氣體，半導體用（毒、腐）氣體，滿足一(yī)體化氣體分配系統的使用。具有卓越的重複性，穩定性，靈敏度和(hé)非凡的響應階躍功能(néng)變化。

主要(yào)部件材料 

閥體        316L（VIM+VAR）

膜片        UNS N10276

閥針        316L / UNS N10276

密封墊     PCTFE / PI

手柄        6063

閥蓋        316L 

工(gōng)作(zuò)條件

進口壓力             250psig

出口壓力            10,30,60,100psig

原壓變動             0.3psig / 20psig

流量系數(shù)             0.06/0.15HF

工(gōng)作(zuò)溫度             -40 ～ 60℃

內(nèi)漏率                ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

外(wài)漏率                ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

內(nèi)表面粗糙度      Ra ≤ 0.1μm

産品特點 

适用于一(yī)體化氣體分配系統

每台減壓器進行(xíng)單獨的壓力測試、功能(néng)測試、氦質譜洩漏測試和(hé)顆粒物(wù)檢測

卓越的重複性，穩定性，靈敏度和(hé)非凡的響應階躍功能(néng)變化