産品介紹 

MGDS 隔膜閥，膜片式硬密封結構，超低(dī)漏率；适用于超高純度氣體，半導體用（毒、腐）氣體，滿足一(yī)體化氣體分配系統的使用。

主要(yào)部件材料 

閥體         316L /316L（VIM+VAR） 

膜片        Ni-Co alloy /UNS R30003

密封墊     PCTFE

工(gōng)作(zuò)條件

工(gōng)作(zuò)壓力              150psig

爆破壓力           450psig

流量系數(shù)           0.1/0.3HF

工(gōng)作(zuò)溫度           -10 ～ 80℃

內(nèi)漏率              ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

外(wài)漏率              ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

內(nèi)表面粗糙度    Ra ≤ 0.1μm

産品特點

适用于一(yī)體化氣路分配系統

每台閥門進行(xíng)單獨氦質譜洩漏測試

超長(cháng)使用壽命