産品介紹

DV系列隔膜閥，膜片式硬密封結構，超低(dī)洩漏率；适用于超高純度氣體，半導體用（毒、腐）氣體，滿足超大規模集成電路的工(gōng)藝氣體要(yào)求。

主要(yào)部件材料

閥體              316L /316L（VIM+VAR） 

膜片           Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022

密封墊        PCTFE

手柄           6063

工(gōng)作(zuò)條件

工(gōng)作(zuò)壓力              真空至 300psig, 真空至 3000psig 

爆破壓力             低(dī)壓 3000psig, 高壓 9000psig

流量系數(shù)            1/4" 為(wèi) 0.25 , 1/2" 為(wèi) 0.35，1/2"HF 為(wèi) 0.7

工(gōng)作(zuò)溫度            低(dī)壓 -10 ～ 60℃ , 高壓 -10 ～ 40℃ 

內(nèi)漏率               ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

外(wài)漏率               ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

內(nèi)表面粗糙度     Ra ≤ 0.1μm

産品特點 

适合超高純度氣體應用

高低(dī)壓兩種閥型

Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022 材料膜片

每台閥門進行(xíng)單獨的氦質譜檢測