産品介紹 

DPH 系列氣動隔膜閥，膜片式硬密封結構，超低(dī)漏率，超長(cháng)使用壽命，穩定快(kuài)速的側進氣執行(xíng)機 構；适用于超高純 度氣體，半導體用（毒、腐）氣體，滿足超大規模集成電路的工(gōng)藝氣體要(yào)求。

主要(yào)部件材料

閥體                       316L /316L（VIM+VAR）

膜片                       Ni-Co alloy /UNS R30003

密封墊                   PCTFE 

工(gōng)作(zuò)條件

工(gōng)作(zuò)壓力                真空至 300psig

爆破壓力                3000psig

流量系數(shù)                0.5 

工(gōng)作(zuò)溫度                -10 ～ 70℃

內(nèi)漏率                   ≤1×10-10Pa.m3/sec.He

外(wài)漏率                   ≤1×10-10Pa.m3/sec.He

內(nèi)表面粗糙度         Ra≤0.1μm

産品特點