産品信息
産品介紹
DVH 系列隔膜閥，膜片式硬密封結構，超低(dī)漏率；适用于超高純度氣體，半導體用（毒、腐）氣體，滿足超大規模集成電路的工(gōng)藝氣體要(yào)求。
主要(yào)部件材料
閥體 316L /316L（VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊 PCTFE
閥體 6063
工(gōng)作(zuò)條件
工(gōng)作(zuò)壓力 真空至 300psig
爆破壓力 3000psig
流量系數(shù) 0.5
工(gōng)作(zuò)溫度 -10 ～ 70℃
內(nèi)漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
外(wài)漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
內(nèi)表面粗糙度 Ra≤0.1μm
産品特點
适合超高純度氣體應用
手柄帶開(kāi)關狀态指示窗口
手柄可(kě)旋轉角度為(wèi) 180° ( 可(kě)選 90° )
手柄通(tōng)過提拉後方可(kě)旋轉開(kāi)啓，操作(zuò)安全
每台閥門進行(xíng)單獨的氦質譜檢測
超長(cháng)使用壽命（50 萬次實驗值）
可(kě)選配防誤操作(zuò) -LOTO
相關下(xià)載
2024-11-21
關鍵詞：
氣體管閥件
獲取報價
我們将在一(yī)個工(gōng)作(zuò)日內(nèi)與您聯系。請(qǐng)注意您的手機來電。
